CORPORATE MENU

トップページ

製品/事業紹介

製品

製品/事業紹介

ミライアルの高機能樹脂製品は、様々な業界のニーズに正確かつスピーディにお応えします。

ウェーハ容器

出荷容器

300mmウェーハ

300mm FOSB

環境・資源を考慮し、必要な部品のみを交換することができるようデザインされた300mmウェーハ用出荷BOXです。

枚葉ケース

300mm 枚葉ケース

クリーンルーム等でのウェーハ保管に使用できます。

工程内容器

300mmFOUP

300mm FOUP

高い寸法精度、厳選した材料の使用により長期間の運用を可能にした300mmウェーハ用工程内容器です。

300mmウェーハ

300mm PBTカセット

13枚入りPBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂カセットです。

300mm PFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

200mmウェーハ

200mm PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。

200mm PFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

200mm PBTカセット

PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。

200mm 保管用ボックス

ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。

150mmウェーハ

150mm PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。

150mm PFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

150mm PBTカセット

PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。

150mm 保管用ボックス

ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。

125mmウェーハ

125mm PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。

125mm PFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

125mm PBTカセット

PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに、導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。

125mm 保管用ボックス

ウェーハカセットを、安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。

100mmウェーハ

100mm PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。

100mm PFAカセット

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

75mm以下ウェーハ

75mm PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。

75mm 以下PFAカセット

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

角基板用

角型基板用 MASKシリーズ

HMハンドルが使えるウェーハカセットタイプと、Hハンドルが使えるバスケットタイプがあります。

ハンドルとカセット用アクセサリ

ハンドル

安全にカセットを移動し、チャンバー等に浸漬することができるハンドルです。

フルイドシステム

継手

溶着継手KSシリーズ

KS継手エルボ

高純度樹脂を使用した小型・軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

KS継手ティー

高純度樹脂を使用した小型・軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

KS継手レデューサー

高純度樹脂を使用した小型・軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

溶着継手SBシリーズ

SB継手エルボ

高純度樹脂を使用した小型、軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

SB継手ティー

高純度樹脂を使用した小型、軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

SB継手レデューサー

高純度樹脂を使用した小型、軽量な溶着継手で、施工後はメンテナンスフリーです。

PFAユニット配管

継手の製作からチューブと溶着して、一体型溶着配管（ユニット）にする加工まで、一貫して対応が可能です。

K-LOCK®継手

K-LOCK メイルコネクター

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。

K-LOCK メイルエルボ

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。

K-LOCK ユニオン

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。

K-LOCK ユニオンエルボ

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。

K-LOCK ユニオンティ

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。

K-LOCK レデューシングユニオン

テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。