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製品/事業紹介

200mm PFAカセット

ウェーハ容器

洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
・ウェーハサイズ:
200mm
・材質:
PFA
製品に関するお問い合わせ

特徴

・KM-80NAは溝ピッチ(B2)=4.76mmで6インチ以下のウェーハカセットと同じウェーハ位置です。
・KM-804-Hはハーフタイプカセットで洗浄・乾燥に最適です。

Dimensions

製品ガイド(単位:mm)

品番 対応
BOX
対応
ハンドル
B1
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
KM-803-H HM-80 25 203.2 240.0 217.4 6.35 1.9 114.3 25.40
KM-804-H HM-80 25 203.2 240.0 155.0 6.35 1.9 114.3 25.40
KM-822-A1 HM-80 25 203.2 240.0 217.4 6.35 1.9 114.3 25.40
KM-822-A2 HM-80 25 203.2 240.0 217.4 6.35 1.9 114.3 25.40
KM-80NA 25 152.4 250.0 220.0 4.76 120.0 4.76
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