製品/事業紹介
200mm PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 200mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・KM-80NAは溝ピッチ（B2）＝4.76mmで6インチ以下のウェーハカセットと同じウェーハ位置です。
・KM-804-Hはハーフタイプカセットで洗浄・乾燥に最適です。
製品ガイド（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-803-H | – | HM-80 | 25 | 203.2 | 240.0 | 217.4 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-804-H | – | HM-80 | 25 | 203.2 | 240.0 | 155.0 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-822-A1 | – | HM-80 | 25 | 203.2 | 240.0 | 217.4 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-822-A2 | – | HM-80 | 25 | 203.2 | 240.0 | 217.4 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-80NA | – | – | 25 | 152.4 | 250.0 | 220.0 | 4.76 | – | 120.0 | 19.05 |
