製品/事業紹介
125mm PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 125mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・WDシリーズは開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。
・K-1、K-2は外形が150mmウェーハカセットサイズで、125mmウェーハを収容する特殊カセットです。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-507-U | CB-5605TX | HM-50 | 25 | 142.2 | 153.0 | 144.5 | 4.76 | – | 76.2 | 13.97 |
| KM-50NA | CB-5605TX | HM-50 | 25 | 142.2 | 153.0 | 145.5 | 4.76 | 1.6 | 76.2 | 13.97 |
| KM-50NAT | CB-5605TX | HM-50 | 25 | 142.2 | 153.0 | 145.5 | 4.76 | 1.6 | 76.2 | 13.97 |
| KM-50NM | CB-5605TX | HM-50 | 25 | 142.2 | 153.0 | 146.0 | 4.76 | 1.6 | 108.0 | 13.97 |
| KM-50WD | – | – | 25 | 143.4 | 153.0 | 146.0 | 4.76 | – | 50.0 | 14.54 |
| K-1 | – | – | 25 | 143.4 | 177.8 | 171.5 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| K-2 | – | – | 25 | 143.4 | 177.8 | 171.5 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
