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製品/事業紹介

150mm PFAカセット

ウェーハ容器

洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
・ウェーハサイズ:
150mm
・材質:
PFA
製品に関するお問い合わせ

特徴

・WDシリーズは開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。
・KM-60Nはウェーハキャパシティ12枚の倍ピッチ仕様です。

Dimensions

製品リスト(単位:mm)

品番 対応
BOX
対応
ハンドル
B1
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
KM-602-A CB-5605TX HM-60 25 143.4 178.0 171.5 4.76 1.6 89.0 14.54
KM-602-U CB-5605TX HM-60 25 143.4 178.0 171.5 4.76 1.6 89.0 14.54
KM-604-U CB-5605TX HM-60 25 142.2 187.0 165.0 4.76 1.6 89.0 13.97
KM-615-A1 CB-5605TX HM-60 25 143.4 177.8 171.5 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-626-U CB-5605TX HM-60 25 143.4 177.8 165.0 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-60NA CB-5605TX HM-60 25 142.2 187.0 165.0 4.76 1.6 89.0 13.97
KM-60NAT CB-5605TX HM-60 25 142.8 178.0 171.5 4.76 89.0 14.54
KM-60NM HM-60 25 142.2 187.0 165.0 4.76 1.6 131.0 13.97
KM-60WD 25 134.3 177.8 171.5 4.76 0.8 111.0 14.54
KM-60N 12 142.2 187.0 165.0 9.53 3.5 132.7 14.20
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