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ミライアル株式会社

株式会社山城精機製作所

株式会社ミライアル東北
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製品/事業紹介

300mm 枚葉ケース

ウェーハ容器

高純度樹脂を使用した300mmウェーハケース

クリーンルーム等でのウェーハ保管に使用できます。
・ウェーハサイズ：
300mm
・材質：
PC
製品に関するお問い合わせ

特徴

・積み重ねが可能で、ウェーハを省スペースに保管できます。
・ヒンジ開閉式でスムーズに操作できます。

製品リスト

品番 材質 適用ウェーハ 材質（本体） 材質（フタ）
SC-300 PC 300mm PC PC

関連製品

ハンドル
材質：PFA, PTFE

安全にカセットを移動し、チャンバー等に浸漬することができるハンドルです。
角型基板用 MASKシリーズ
ウェーハサイズ：125mm, 100mm, 60mm, 50mm
材質：PFA

HMハンドルが使えるウェーハカセットタイプと、Hハンドルが使えるバスケットタイプがあります。

75mm 以下PFAカセット
ウェーハサイズ：75mm , 63mm, 50mm, 38mm
材質：PFA, PP

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

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