製品/事業紹介
75mm 以下PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 75mm , 63mm, 50mm, 38mm
- ・材質：
- PFA, PP
特徴
・K-30、K-30-52、K-20、K-15はバスケットタイプでウェーハ水平置きは不可、対応ハンドルはHシリーズです。
・WDシリーズは、開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | ウェーハ サイズ |
対応 ハンドル |
ウェーハ 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| K-30 | 75mm | H-01 | 25 | 154.0 | 92.5 | 83.2 | 4.70 | 2.4 | 49.0 | 20.00 |
| K-30-52 | 75mm | H-01 | 52 | 154.0 | 92.5 | 83.2 | 2.38 | 0.7 | 49.0 | 20.00 |
| KM-30 | 75mm | HM-30 | 25 | 142.3 | 93.6 | 83.0 | 4.76 | 1.6 | 38.5 | 13.90 |
| KM-30N | 75mm | HM-30 | 25 | 142.2 | 102.8 | 82.6 | 4.76 | 1.4 | 28.9 | 13.97 |
| KM-30WD | 75mm | – | 25 | 142.2 | 102.8 | 82.6 | 4.76 | 41.6 | 13.97 | |
| KM-30PN (PP) |
75mm | HM-30 | 25 | 142.2 | 94.0 | 82.6 | 4.76 | 1.6 | 38.9 | 13.97 |
| KM-25 | 63mm | HM-25 | 25 | 142.2 | 78.0 | 73.2 | 4.76 | 1.6 | 48.6 | 13.97 |
| KM-25-51 | 63mm | HM-25 | 51 | 142.2 | 77.0 | 73.2 | 2.38 | 0.8 | 48.5 | 13.97 |
| K-20 | 50mm | H-01 | 25 | 150.0 | 67.0 | 54.0 | 4.75 | 1.2 | 31.0 | |
| KM-20 | 50mm | HM-20 | 25 | 142.1 | 67.8 | 59.0 | 4.76 | 1.3 | 34.0 | 13.90 |
| K-15 | 38mm | H-01 | 25 | 151.0 | 58.0 | 45.5 | 4.76 | 1.4 | 24.0 |
