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製品/事業紹介

75mm 以下PFAカセット

ウェーハ容器

洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
・ウェーハサイズ:
75mm , 63mm, 50mm, 38mm
・材質:
PFA, PP
製品に関するお問い合わせ

特徴

・K-30、K-30-52、K-20、K-15はバスケットタイプでウェーハ水平置きは不可、対応ハンドルはHシリーズです。
・WDシリーズは、開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。

Dimensions

製品リスト(単位:mm)

品番 ウェーハ
サイズ
対応
ハンドル
ウェーハ
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
K-30 75mm H-01 25 154.0 92.5 83.2 4.70 2.4 49.0 20.00
K-30-52 75mm H-01 52 154.0 92.5 83.2 2.38 0.7 49.0 20.00
KM-30 75mm HM-30 25 142.3 93.6 83.0 4.76 1.6 38.5 13.90
KM-30N 75mm HM-30 25 142.2 102.8 82.6 4.76 1.4 28.9 13.97
KM-30WD 75mm 25 142.2 102.8 82.6 4.76 41.6 13.97
KM-30PN
(PP)
75mm HM-30 25 142.2 94.0 82.6 4.76 1.6 38.9 13.97
KM-25 63mm HM-25 25 142.2 78.0 73.2 4.76 1.6 48.6 13.97
KM-25-51 63mm HM-25 51 142.2 77.0 73.2 2.38 0.8 48.5 13.97
K-20 50mm H-01 25 150.0 67.0 54.0 4.75 1.2 31.0
KM-20 50mm HM-20 25 142.1 67.8 59.0 4.76 1.3 34.0 13.90
K-15 38mm H-01 25 151.0 58.0 45.5 4.76 1.4 24.0
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