製品/事業紹介
ウェーハ容器
出荷容器
工程内容器
200mmウェーハ
200mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
200mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
200mm PBTカセット
PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
200mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
200mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
150mmウェーハ
150mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
150mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
150mm PBTカセット
PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
150mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
150mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
125mmウェーハ
125mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
125mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
125mm PBTカセット
PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに、導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
125mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを、安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
125mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
100mmウェーハ
75mm以下ウェーハ
ハンドルとカセット用アクセサリ
フルイドシステム
継手
溶着継手KSシリーズ
溶着継手SBシリーズ
K-LOCK®継手
K-LOCK メイルコネクター
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK メイルエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK パネルマウントユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK パネルマウントエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK ユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK ユニオンエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK ユニオンティ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
K-LOCK レデューシングユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。