製品/事業紹介
ウェーハ容器
出荷容器
工程内容器
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/200mmPBT-80x80.jpg)
200mmウェーハ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/200mmPEEK-300x185.jpg)
200mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
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200mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
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200mm PBTカセット
PBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
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200mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
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200mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
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150mmウェーハ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/150mmPEEK-300x185.jpg)
150mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
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150mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/150mmPBT-1-300x185.jpg)
150mm PBTカセット
PBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/150mmBOX-300x185.jpg)
150mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/AL-300x185.jpg)
150mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/125mmPEEK-80x80.jpg)
125mmウェーハ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/125mmPEEK-300x185.jpg)
125mm PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/125mmPFA-300x185.jpg)
125mm PFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/125mmPBT-300x185.jpg)
125mm PBTカセット
PBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂をベースに、導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/125mmBOX-300x185.jpg)
125mm 保管用ボックス
ウェーハカセットを、安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/AL-300x185.jpg)
125mm アルミカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/100mmPFA-80x80.jpg)
100mmウェーハ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/75mmPFA-80x80.jpg)
75mm以下ウェーハ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/Handle-80x80.jpg)
ハンドルとカセット用アクセサリ
フルイドシステム
継手
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/ks-fittings-80x80.jpg)
溶着継手KSシリーズ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/sb-fittings-cover-80x80.jpg)
溶着継手SBシリーズ
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/klock-fittings-cover-80x80.jpg)
K-LOCK®継手
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/klock-male-connector-e1597970922141-300x185.jpg)
K-LOCK メイルコネクター
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/klock-male-elbow-300x185.jpg)
K-LOCK メイルエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/klock-panelmount-union-300x185.jpg)
K-LOCK パネルマウントユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/klock-panelmount-elbow-300x185.jpg)
K-LOCK パネルマウントエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/klock-union-300x185.jpg)
K-LOCK ユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/klock-union-elbow-e1597970934693-300x185.jpg)
K-LOCK ユニオンエルボ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/07/klock-union-tee-300x185.jpg)
K-LOCK ユニオンティ
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。
![](https://www.miraial.co.jp/wp-content/uploads/2020/08/klock-reducing-union-300x185.jpg)
K-LOCK レデューシングユニオン
テーパー収縮シールで、チューブの加工がいらないクリーン継手です。