製品/事業紹介
300mm FOUP
ウェーハ容器
長期間の運用が可能な300mmウェーハ用FOUP（Front Opening Unified Pod）
高い寸法精度、厳選した材料の使用により長期間の運用を可能にした300mmウェーハ用工程内容器です。- ・ウェーハサイズ：
- 300mm
- ・材質：
- PC
特徴
・フタのガスケットを二重化することにより、外部からのパーティクルの侵入を防ぎます。
・“丸型ラッチ”の採用によりラッチキー周辺の開口面積を最小化し、フタ内部からのパーティクル飛散を防止します。
・ウェーハ入り数を26枚化しました（26枚目をダミーとし、25枚目のウェーハを保護）。
・環境・資源を考慮したデザインとし、必要部品のみ交換することができます。
Reuse & Recycle
主要パーツは全て導電材料を使用(E7～E10)
SEMI規格に準拠 (M31/E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62)
製品リスト
| 品番 | 材質 | 適用ウェーハ |
|---|---|---|
| KT-3003MIR | PC | 300mm |
