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製品/事業紹介

ハンドル

ウェーハ容器

各種ウェーハカセット用ハンドル

安全にカセットを移動し、チャンバー等に浸漬することができるハンドルです。
・材質:
PFA, PTFE
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特徴

・Hタイプハンドルは、角基板用カセット(MASKシリーズ)や、特殊カセット(Kシリーズ)のウェーハカセット専用です。
・HM-1203は300mmPFAカセットKM-1201-A2専用です。

製品リスト(単位:mm)

品番 材質 ウェーハ
サイズ
全幅 全高
H-01 PFA 50mm 152 208
HM-20 PFA 50mm 152 208
HM-25 PFA 63mm 152 208
HM-30 PFA 75mm 152 208
HM-40 PFA 100mm 152 208
HM-50 PFA 125mm 152 208
HM-60 PFA 150mm 152 208
HM-80 PFA 200mm 228 235
HM-1203 PTFE 300mm 340 255
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