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製品/事業紹介

300mm PFAカセット

ウェーハ容器

洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット

安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
・ウェーハサイズ:
300mm
・材質:
PFA
製品に関するお問い合わせ

特徴

・13枚入り・15枚入りの2タイプあります。

Dimensions

製品リスト(単位:mm)

品番 対応
BOX
対応
ハンドル
B1
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
KM-1201-A2 HM-1203 13 180.0 350.0 320.0 10.00 1.9 200.0 25.30
KM-1205-A HM-1205 15 205.0 350.0 320.0 10.00 1.9 200.0 25.30
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