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製品/事業紹介

100mm PFAカセット

ウェーハ容器

洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。
・ウェーハサイズ:
100mm
・材質:
PFA
製品に関するお問い合わせ

特徴

・K-40、K-40-52はバスケットタイプでウェーハ水平置きは不可、対応ハンドルはHシリーズです。
・WDシリーズは、開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。

Dimensions

製品リスト(単位:mm)

品番 対応
BOX
対応
ハンドル
ウェーハ
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
K-40 H-01 25 146.0 124.0 112.0 4.76 1.8 60.3 20.20
K-40-52 H-01 52 155.0 120.0 115.0 2.38 0.6 72.0
KM-40N CB-404 HM-40 25 142.2 125.5 114.3 4.76 1.6 61.0 13.97
KM-40S CB-404 25 142.2 124.5 114.3 4.76 1.5 61.6 13.97
KM-40NA CB-404 25 142.2 125.5 114.3 4.76 1.6 61.0 13.97
KM-40WD 25 142.2 125.5 114.3 4.76 50.0 13.97
KM-1005 25 142.2 153.0 145.5 4.76 76.2 13.97
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