製品/事業紹介
100mm PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 100mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・K-40、K-40-52はバスケットタイプでウェーハ水平置きは不可、対応ハンドルはHシリーズです。
・WDシリーズは、開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
ウェーハ 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| K-40 | – | H-01 | 25 | 146.0 | 124.0 | 112.0 | 4.76 | 1.8 | 60.3 | 20.20 |
| K-40-52 | – | H-01 | 52 | 155.0 | 120.0 | 115.0 | 2.38 | 0.6 | 72.0 | |
| KM-40N | CB-404 | HM-40 | 25 | 142.2 | 125.5 | 114.3 | 4.76 | 1.6 | 61.0 | 13.97 |
| KM-40S | CB-404 | – | 25 | 142.2 | 124.5 | 114.3 | 4.76 | 1.5 | 61.6 | 13.97 |
| KM-40NA | CB-404 | – | 25 | 142.2 | 125.5 | 114.3 | 4.76 | 1.6 | 61.0 | 13.97 |
| KM-40WD | – | – | 25 | 142.2 | 125.5 | 114.3 | 4.76 | 50.0 | 13.97 | |
| KM-1005 | – | – | 25 | 142.2 | 153.0 | 145.5 | 4.76 | 76.2 | 13.97 |
