製品/事業紹介
200mm PEEKカセット
ウェーハ容器
高温環境での継続的な使用が可能な静電気対策PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。- ・ウェーハサイズ：
- 200mm
- ・材質：
- PEEK
特徴
・KM-839K-A1はウェーハを26枚収容する事が可能です。
・KM-839K-H1はKM-839K-A1と同形状で、13枚入の倍ピッチタイプです。
・KM-841K-H2は溝底幅が2.63mmとなっており、厚み1mm以上のウェーハが使用可能です。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| CW-08KE | CB-806PCM | – | 25 | 203.2 | 240.0 | 217.4 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| CW-08KE-T | CB-806PCM | – | 25 | 203.2 | 240.0 | 217.4 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-839K-A1 | CB-806PCM | HM-80 | 26 | 209.6 | 235.0 | 219.0 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-841K-H1 | CB-806PCM | – | 25 | 203.2 | 234.2 | 219.1 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-841K-H2 | CB-806PCM | – | 25 | 203.2 | 234.2 | 219.1 | 6.35 | 2.6 | 114.3 | 25.40 |
| KM-839K-H1 | CB-806PCM | HM-80 | 13 | 209.6 | 235.0 | 219.0 | 12.70 | 8.3 | 114.3 | 28.60 |
