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製品/事業紹介

200mm 保管用ボックス

ウェーハ容器

高純度樹脂を使用した工程内搬送用ボックス

ウェーハカセットを安全にクリーンルーム内で保管するカセット用BOXです。
・ウェーハサイズ:
200mm
・材質:
PC, PBT
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特徴

・CB-806PCMはPC(ポリカーボネート)樹脂製の透明のフタがついているため、内部を視認できます。

品番・寸法表(単位:mm)

品番 材質 ウェーハ
サイズ
カセット
収容数
全長 全幅 全高
CB-804TX6 PBT 200mm 1 273.0 278.0 251.0
CB-806PCM PC 200mm 1 296.5 274.7 253.0

 

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