製品/事業紹介
300mm PBTカセット
ウェーハ容器
高純度樹脂を使用した300mmウェーハ搬送用カセット
13枚入りPBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 300mm
- ・材質：
- PBT
特徴
・SEMI規格（E1.9）に準拠しています。
・縦置きが可能です。
製品リスト（mm）
| 品番 | 材質 | 適用 ウェーハ |
対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収納枚数 |
A1 全長 |
A2 最大幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-1202T-A | PBT | 300mm | – | – | 13 | 179.00 | 332.00 | 312.00 | 10.00 | 5.72 | 100.00 | 32.00 |
