製品/事業紹介
150mm PBTカセット
ウェーハ容器
半導体グレードの材料を使用したウェーハ搬送用カセット
PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに、導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 150mm
- ・材質：
- PBT, PBT+CP
特徴
・KM-610T-A2（白）とKM-610NE-A2（黒）は、ウェーハキャパシティ12枚の倍ピッチタイプです。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-610TX-A2 | CB-5605TX | – | 12 | 142.8 | 168.0 | 163.5 | 9.53 | 3.8 | 89.0 | 21.68 |
| KM-610NE-A2 | CB-5605TX | – | 12 | 142.8 | 168.0 | 163.5 | 9.53 | 3.8 | 89.0 | 21.68 |
| KM-627NE-SA | CB-5602TX3 | – | 25 | 143.4 | 177.8 | 163.6 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.65 |
| KM-627NE-SH | CB-5602TX3 | – | 25 | 143.4 | 177.8 | 163.6 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.65 |
| KM-631NE-H | CB-5602TX3 | – | 25 | 142.2 | 187.5 | 165.0 | 4.76 | 1.6 | 89.0 | 13.97 |
