製品/事業紹介
300mm FOSB
ウェーハ容器
高純度樹脂を使用した300mmウェーハ用オートドアFOSB (Front Opening Shipping Box)
環境・資源を考慮し、必要な部品のみを交換することができるようデザインされた300mmウェーハ用出荷BOXです。- ・ウェーハサイズ：
- 300mm
- ・材質：
- PC, PBT
特徴
・ロードポートでの開閉だけでなく、手動で開閉することも可能です。
・オプションパーツとしてトップフランジ、インフォパッドの取り付けが可能です。
・リサイクルの際は、材質ごとに完全に分別することができます。
リユース＆リサイクル
ウェーハ位置の精度向上
SEMI規格に準拠(M31/E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62)
輸送時の信頼性向上
製品リスト
| 品番 | 材質 | 全長(mm) | 全幅(mm) | 全高(mm) |
| KT-3004A-4 | 本体、フタ：PC（ポリカーボネート） 溝板：PBT（ポリブチレンテレフタレート） |
327 | 389.5 | 341.8 |
