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製品/事業紹介

300mm FOSB

ウェーハ容器 300mmウェーハ

高純度樹脂を使用した300mmウェーハ用オートドアFOSB (Front Opening Shipping Box)

環境・資源を考慮し、必要な部品のみを交換することができるようデザインされた300mmウェーハ用出荷BOXです。
・ウェーハサイズ:
300mm
・材質:
PC, PBT
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特徴

・ロードポートでの開閉だけでなく、手動で開閉することも可能です。
・オプションパーツとしてトップフランジ、インフォパッドの取り付けが可能です。
・リサイクルの際は、材質ごとに完全に分別することができます。

リユース&リサイクル

ウェーハ位置の精度向上

SEMI規格に準拠(M31/E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62)

輸送時の信頼性向上

製品リスト

品番 材質 全長(mm) 全幅(mm) 全高(mm)
KT-3004A-4 本体、フタ:PC(ポリカーボネート)
溝板:PBT(ポリブチレンテレフタレート)
327 389.5 341.8

 

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