製品/事業紹介
150mm PEEKカセット
ウェーハ容器
高温環境での継続的な使用が可能な静電気対策PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。- ・ウェーハサイズ：
- 150mm
- ・材質：
- PEEK
特徴
・KM-628K-SHはウェーハキャパシティ26枚です。
・KM-632K-SAはウェーハキャパシティ25枚かつ、溝ピッチ（B2)6.35mmの200mmカセット互換タイプです。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| CW-06KE-T2 | – | – | 25 | 143.4 | 177.8 | 165.1 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-627K-SA | CB-5602TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 177.8 | 164.0 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-627K-SH | CB-5602TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 177.8 | 164.0 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-628K-SH | CB-5602TX | – | 26 | 149.6 | 177.8 | 164.0 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-632K-SA | – | – | 25 | 203.2 | 177.8 | 164.0 | 6.35 | 2.2 | 88.9 | 25.40 |
