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製品/事業紹介

150mm PEEKカセット

ウェーハ容器

高温環境での継続的な使用が可能な静電気対策PEEKカセット

高い耐久性で実績があるPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。
・ウェーハサイズ:
150mm
・材質:
PEEK
製品に関するお問い合わせ

特徴

・KM-628K-SHはウェーハキャパシティ26枚です。
・KM-632K-SAはウェーハキャパシティ26枚かつ、溝ピッチ(B2)6.35mmの200mmカセット互換タイプです。

Dimensions

製品リスト(単位:mm)

品番 対応
BOX
対応
ハンドル
B1
収容枚数
A1
全長
A2
全幅
A3
全高
B2
溝ピッチ
C3
溝底幅
D6
脚内寸
D1
D1ピッチ
CW-06KE-T2 25 143.4 177.8 165.1 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-627K-SA CB-5602TX3 HM-60 25 143.4 177.8 164.0 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-627K-SH CB-5602TX3 HM-60 25 143.4 177.8 164.0 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-628K-SH CB-5602TX3 26 149.6 177.8 164.0 4.76 1.5 88.9 14.54
KM-632K-SA CB-5602TX3 26 203.2 177.8 164.0 6.35 2.2 88.9 25.40
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