300mm 枚葉ケース

製品/事業紹介

300mm 枚葉ケース

ウェーハ容器

クリーンルーム等でのウェーハ保管に使用できます。

製品に関するお問い合わせ

・積み重ねが可能で、ウェーハを省スペースに保管できます。
・ヒンジ開閉式でスムーズに操作できます。

品番	材質	適用ウェーハ	材質（本体）	材質（フタ）
SC-300	PC	300mm	PC	PC

安全にカセットを移動し、チャンバー等に浸漬することができるハンドルです。

HMハンドルが使えるウェーハカセットタイプと、Hハンドルが使えるバスケットタイプがあります。

安定した品質で実績がある、フッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。

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300mm 枚葉ケース