製品/事業紹介
300mm PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 300mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・13枚入り・15枚入りの２タイプあります。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-1201-A2 | – | HM-1203 | 13 | 180.0 | 350.0 | 320.0 | 10.00 | 1.9 | 200.0 | 25.30 |
| KM-1205-A | – | HM-1205 | 15 | 205.0 | 350.0 | 320.0 | 10.00 | 1.9 | 200.0 | 25.30 |
