製品/事業紹介
200mm PBTカセット
ウェーハ容器
半導体グレードの材料を使用したウェーハ搬送用カセット
PBT（ポリブチレンテレフタレート）樹脂をベースに導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 200mm
- ・材質：
- PBT+CP
特徴
・KM-854NE-A、Hはウェーハキャパシティ26枚です。
・KM-854NE-H4はウェーハキャパシティ13枚で倍ピッチ仕様です。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-834NE-H | 25 | 203.2 | 234.2 | 218.2 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-854NE-A | 26 | 209.6 | 235.0 | 219.0 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-854NE-H | 26 | 209.6 | 235.0 | 219.0 | 6.35 | 1.9 | 114.3 | 25.40 |
| KM-854NE-H4 | 13 | 209.6 | 235.0 | 219.0 | 12.70 | 8.3 | 114.3 | 28.60 |
| KM-855NE-A | 25 | 203.2 | 235.0 | 219.0 | 6.35 | 1.8 | 114.3 | 25.40 |
| KM-855NE-H | 25 | 203.2 | 235.0 | 219.0 | 6.35 | 1.8 | 114.3 | 25.40 |
