製品/事業紹介
150mm アルミカセット
ウェーハ容器
耐熱に優れたアルミ押出加工の溝板を使用したカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。- ・ウェーハサイズ：
- 150mm
- ・材質：
- アルミニウム（AL）
特徴
・カセット開口部にフッ素樹脂製のウェーハ受けがついているため、ウェーハ挿入時に傷つきにくい構造になっています。（フッ素樹脂の耐熱を超える温度域では使用不可）
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | ウェーハ 収容枚数 |
全長 | 全幅 | 全高 | 溝ピッチ | D1ピッチ |
| MC-60 | 25 | 142.2 | 165.0 | 165.0 | 4.76 | 13.97 |
