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製品/事業紹介

150mm アルミカセット

ウェーハ容器

耐熱に優れたアルミ押出加工の溝板を使用したカセット

ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。
・ウェーハサイズ:
150mm
・材質:
アルミニウム(AL)
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特徴

・カセット開口部にフッ素樹脂製のウェーハ受けがついているため、ウェーハ挿入時に傷つきにくい構造になっています。(フッ素樹脂の耐熱を超える温度域では使用不可)

製品リスト(単位:mm)

品番 ウェーハ
収容枚数
全長 全幅 全高 溝ピッチ D1ピッチ
MC-80 25 203.2 216.0 217.4 6.35 25.40
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