製品/事業紹介
125mm アルミカセット
ウェーハ容器
耐熱に優れたアルミ押出加工の溝板を使用したカセット
ウェーハが接する溝板部の表面処理は、標準のフッ素樹脂コーティングに加え、無電解Ni、アルマイト処理が可能です。- ・ウェーハサイズ：
- 125mm
- ・材質：
- アルミニウム（AL）
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | ウェーハ 収容枚数 |
全長 | 全幅 | 全高 | 溝ピッチ | D1ピッチ |
| MC-50 | 25 | 142.2 | 140.0 | 140.0 | 4.76 | 13.97 |
