製品/事業紹介
100mm PEEKカセット
ウェーハ容器
高温環境での継続的な使用が可能な静電気対策PEEKカセット
高い耐久性で実績があるPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂製カセットで、高温環境での連続使用が可能です。- ・ウェーハサイズ：
- 100mm
- ・材質：
- PEEK
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | ウェーハ 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| CW-04KE | 25 | 142.7 | 125.5 | 111.1 | 4.76 | 1.5 | 60.3 | 13.97 |
