製品/事業紹介
角型基板用 MASKシリーズ
ウェーハ容器
角基板の収納が可能な洗浄用カセット
HMハンドルが使えるウェーハカセットタイプと、Hハンドルが使えるバスケットタイプがあります。- ・ウェーハサイズ：
- 125mm, 100mm, 60mm, 50mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・AM-100および50MASKはウェーハカセットタイプです。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| 100MASK | 20 | 156.0 | 125.0 | 78.0 | 4.76 | 3.0 | 85.0 | – |
| AM-100 | 25 | 142.2 | 125.5 | 120.0 | 4.76 | 1.5 | 85.0 | 13.97 |
| 60MASK | 25 | 143.0 | 78.0 | 57.0 | 4.76 | – | 17.9 | 47.00 |
| 50MASK | 25 | 142.1 | 68.0 | 70.0 | 4.76 | – | 36.7 | 4.76 |
