製品/事業紹介
125mm PBTカセット

ウェーハ容器
半導体グレードの材料を使用したウェーハ搬送用カセット
PBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂をベースに、導電材料をコンパウンドした静電気対策カセットです。- ・ウェーハサイズ:
- 125mm
- ・材質:
- PBT
特徴
・KM-511NE-SHは黒、KM-511TX-SHは白となっており、色分けが可能です。
製品リスト(単位:mm)
品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
KM-511TX-SH | CB-5605TX | – | 25 | 142.2 | 153.8 | 146.0 | 4.76 | 1.6 | 76.6 | 13.97 |
KM-511NE-SH | CB-5605TX | – | 25 | 142.2 | 153.8 | 146.0 | 4.76 | 1.6 | 76.6 | 13.97 |