製品/事業紹介
150mm PFAカセット
ウェーハ容器
洗浄乾燥性を重視し、開口面積を広く取ったPFAカセット
安定した品質で実績があるフッ素樹脂PFA製のウェーハ洗浄用カセットです。- ・ウェーハサイズ：
- 150mm
- ・材質：
- PFA
特徴
・WDシリーズは開口部を最大に取った設置型乾燥用のカセットで、ハンドルやスピンドライヤーに非対応です。
・KM-60Nはウェーハキャパシティ12枚の倍ピッチ仕様です。
製品リスト（単位：mm）
| 品番 | 対応 BOX |
対応 ハンドル |
B1 収容枚数 |
A1 全長 |
A2 全幅 |
A3 全高 |
B2 溝ピッチ |
C3 溝底幅 |
D6 脚内寸 |
D1 D1ピッチ |
| KM-602-A | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 178.0 | 171.5 | 4.76 | 1.6 | 89.0 | 14.54 |
| KM-602-U | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 178.0 | 171.5 | 4.76 | 1.6 | 89.0 | 14.54 |
| KM-604-U | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 142.2 | 187.0 | 165.0 | 4.76 | 1.6 | 89.0 | 13.97 |
| KM-615-A1 | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 177.8 | 171.5 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-626-U | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 143.4 | 177.8 | 165.0 | 4.76 | 1.5 | 88.9 | 14.54 |
| KM-60NA | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 142.2 | 187.0 | 165.0 | 4.76 | 1.6 | 89.0 | 13.97 |
| KM-60NAT | CB-5605TX | HM-60 | 25 | 142.8 | 178.0 | 171.5 | 4.76 | – | 89.0 | 14.54 |
| KM-60NM | – | HM-60 | 25 | 142.2 | 187.0 | 165.0 | 4.76 | 1.6 | 131.0 | 13.97 |
| KM-60WD | – | – | 25 | 134.3 | 177.8 | 171.5 | 4.76 | 0.8 | 111.0 | 14.54 |
