製品/事業紹介
ハンドル
特徴
・Hタイプハンドルは、角基板用カセット(MASKシリーズ)や、特殊カセット(Kシリーズ)のウェーハカセット専用です。
・HM-1203は300mmPFAカセットKM-1201-A2専用です。
製品リスト(単位:mm)
| 品番 | 材質 | ウェーハ サイズ |
全幅 | 全高 |
| H-01 | PFA | 50mm | 152 | 208 |
| HM-20 | PFA | 50mm | 152 | 208 |
| HM-25 | PFA | 63mm | 152 | 208 |
| HM-30 | PFA | 75mm | 152 | 208 |
| HM-40 | PFA | 100mm | 152 | 208 |
| HM-50 | PFA | 125mm | 152 | 208 |
| HM-60 | PFA | 150mm | 152 | 208 |
| HM-80 | PFA | 200mm | 228 | 235 |
| HM-1203 | PTFE | 300mm | 340 | 255 |

